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2026-01-29
扩散硅压力变送器主要有以下特点:
1. 高精度:测量精度一般可达 ±0.1% FS 至 ±0.5% FS,甚至有些产品高精度可达 0.1% FS。其感受、敏感转换和检测三位一体,无机械动件连接转换环节,重复性和迟滞误差很小,加之硅材料刚性好、形变小,传感器线性度非常好,如线性度高达 0.1% FS,便于系统校准和信号处理,可满足大多数工业测量和科研领域对压力测量精度的要求。
2. 高灵敏度:对压力变化具有较高的响应速度和灵敏度,扩散硅敏感电阻的灵敏因子比金属应变片高 50 至 80 倍,满量程信号输出在 80-100mv 左右,能检测到微小的压力变化,适用于测量动态压力和微小压力信号,且输入激励电压低,输出信号大,分辨率高。
3. 良好的稳定性:采用制造工艺和温度补偿技术,如激光调阻、计算机自动修整技术等,传感器的零位和灵敏度温度系数已达 10-5/℃数量级,每年的稳定性优于 0.1% 满量程,能够在较宽的温度范围内保持良好的稳定性,减少温度对测量精度的影响。
4. 抗过载和抗冲击能力强:压力敏感区域通常被一层保护膜覆盖,过压可达量程的数倍,甚至用硬物直接敲打测量元件也不致使其损坏,且对测量精度毫无影响,确保了变送器在承受超过标称压力的瞬间过载时不会损坏,提高了设备安全性。
5. 耐腐蚀:硅材料本身具有优良的化学防腐性能,能适应多种腐蚀性介质的压力测量,如酸、碱、盐等溶液。同时,外壳和密封材料也具有相应的耐腐蚀性能,加之硅材料与硅油有良好的兼容性,在采用防腐材料隔离时结构工艺更易于实现,可在恶劣环境下长期稳定工作。
6. 体积小、重量轻:结构紧凑,体积小,重量轻,如有的产品总高仅 166mm,重量约 1kg,便于安装和使用,可广泛应用于各种空间有限的场合。
7. 工作可靠、维修量少:采用单片微机械技术制造,敏感元件与衬底之间形成刚性连接,扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级,膜片位移量在微米数量级,且无机械磨损,无疲劳,无老化,平均时间长,可靠性高,且无机械可动部件,减少了故障发生的概率,维修量少。
8. 输出信号标准:一般输出 4-20mA 的标准电流信号或 0-5V、0-10V 等标准电压信号,便于与各种自动化控制系统、显示仪表等进行连接和匹配,实现压力的远程测量、控制和显示。
9. 测量介质广泛:可测油、水及与 316 不锈钢兼容的糊状物等多种介质,适用性广。
10. 频响高:由于敏感膜片硅材料的本身固有频率高,一般在 50KC,制造过程采用集成工艺,膜片有效面积小,配以刚性结构前置安装特殊设计,使传感器频率响应很高,使用带宽可达零频至 100 千赫兹,能够快速准确地响应压力的变化,对于动态压力测量具有良好的适应性。
11. 抗电击穿性能好:采用特殊材料和装配工艺,扩散硅传感器在强磁场、高电压击穿试验中可抗击 1500V/AC 电压的冲击,可在较为恶劣的电磁环境下正常工作。


虹润公司是专业生产显示控制仪表的国家专精特新“小巨人”企业,生产的K2系列扩散硅压力变送器具有响应速度快,精度高,稳定性好等特点。


